真空系统泵采用无油前级泵加罗茨泵泵组结构，即保证抽速，又保证腔体洁净度，同时无油泵例如爪式干泵易维护、噪声小、抽速快，相对于部分耐腐蚀的油泵来说，其维护以及运作成本大大降低，同时该泵是适合于强氧化气体及含氟离子的特殊环境下工作的，大大提高泵体的寿命，罗茨泵的使用，是为在真空度低于1000帕时提高抽速，使之更快达到工作压强，既分担了单一泵体的工作压力，又提高了效率。

    自动控制系统，采用PLC进行全程控制，性能稳定，功能全面， 人机界面友好，采用12.1或10.4英寸触摸屏；或采用PC加显示器进行控制，可设定工艺过程参数，可对大量实时数据进行采集记录、打印，还具备事件报警，配方储存，数据报表等强大功能，可用PID模式自动控制真空度、极板温度等。 

    供气系统，采用5路气体质量流量计，分别用来控制不同的气体，通过一定的技术处理，使用户在计算机操作平台上可以方便的置入工艺生产中所需的气量。另外我们的供气管道采用了进口的高精度抛光不锈钢管，内壁光滑、气阻小，气体的流量更加稳定可靠。

    电极系统，该设计对等离子激发空间均匀性大大改善，在同一平面上等离子刻蚀清洗的速率更加一致，控制电力参数由系统结构设计获得，并能很好的控制电极的温度均一性，总之，电极整套体系的结构及与之交互作用的参数的合时控制，使电极对等离子的可控性大大提高。

竖直电极的设计加上工件架的配合使用，使不同板材的PCB可以方便、安全可靠地放于电极之间，使电极间空间利用率达到最大。

    水平电极的设计可以根据现场需要调整电极板间距，以适用于不同外形尺寸的工件放置，灵活多样而又保持一定的组合形式。保证质量且提高了效率。

    根据不同的电极结构，我们设计、制造了多种不同的工件架，分别应用于硬纸板材和软质板。工件架的特点，装卸方便、安全可靠，适合各种规格板材的摆放，保证了生产效率。工件架的设计结合了电极的结构，将电极之间的空间利用率达到最高。

    尾气处理系统采用了水吸收HF的方式，并且在水中加入了弱碱进行中和反应，避免对环境造成二次污染